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ICP-MS 1000型电感耦合等离子体质谱仪主要包括以下功能模块：进样系统、ICP离子源、接口单元、离子传输系统、四级杆质量分析系统、离子检测及和数据采集系统、真空系统、整机控制系统与软件系统，待测样品通过进样系统进入离子源部分，在被 ICP射频电源离子化后，在接口及离子传输系统中通过聚焦、消除干扰后进入四极杆质量分析器，在其中离子将按照质荷比（m/z）大小被分开，经过聚焦后，达到检测器。检测器将不同质荷比的离子流通过接收、测量及数据处理转换成电信号经放大、处理后得到分析结果。